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クリーンルーム

クリーンルームとはJIS によると「コンタミネーションコントロールが行われている限られた空間であって、空気中における浮遊微粒 子、浮遊微生物が限定された清浄度レベル以下に管理され、また、その空間に供給される材料、薬品、水などについても要求される清 浄度が保持され、必要に応じて温度、湿度、圧力などの環境条件についても管理が行われている空間」と定義されています。 下記の2種に大別されます。

 

ICR:Industrial Clean Room(工業用クリーンルーム)
BCR:Biological Clean Room(バイオロジカルクリーンルーム)

 

クリーンルームは、半導体や薬品、液晶の製造には不可欠であり、先端技術製品の高密度化と共に、半導体を中心としてクリーンルー ムもより高性能なものを目指した開発が進められてきました。現在ではあらゆる産業分野の製造、研究、開発施設でクリーンエア環境 の制御が製品精度に対して重要な役割を果たしています。

 

プレハブパネル式クリーンルーム

  • 断熱性に優れ、高レベルの温湿度制御に対応します。
  • 表面材は、カビの発生や、チリ、ホコリが付着しにくく、耐久性、耐食性に富んでいます。
  • パネルのジョイント部はシリコンコーキング完全シール。高い気密性能を誇ります。
  • パネルは耐湿、耐水性に優れた一体構造で、掃除もしやすく衛生的なパネルです。
  • パネルの組み合わせにより、望む形にレイアウトができます。移設、増設が容易にできるのも特長です。
  • パネルは強度のある一体構造ですから自立させて施工でき、天井パネルも吊り天井方式なので、クリーンルームを独立無柱式構造に でき、短い工期で施工できます。

ダウンフロー式クリーンルーム

  • 【垂直層流方式】
  • 天井全面に設置されたHEPA フィルターから、層流で垂直に清浄空気 を吹き出し、床面から排気して循環させます。
  • 設備費、ランニングコストはかかりますが、清浄空気が最短距離で排 気されるため、稼働時の作業者からの清浄度に対する影響は少なく、 クラス3〜5といった高レベルクリーンルームには、最も望ましい方 式です。

ダウンフロー式クリーンルーム



コンベンショナル(循環式)

  • 一般的に多く利用されている方式です。天井の一部に組み込んだ HEPA フィルターから清浄空気を吹き出し、壁面の下方から排気して 循環させる非層流方式です。
  • クラス6〜8のクリーンルームに適し、設備費、ランニングコストとも、 他の方式に比べて低価格です。

コンベンショナル(循環式)



※パネル組み立て、空調機取り付け配管、ダクト工事、電気工事、冷却塔工事などすべて承ります。

 

クリーンルーム設備

クリーンルーム設備

※施工例1

※施工例1

※施工例2

※施工例2



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